氮化镓基外延片
氮化镓基外延片
云端营销| 所属分类 | |
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| 项目 | SiC衬底 | 蓝宝石衬底 | |||
| 产品直径 | 2英寸 | 3英寸 | 2英寸 | 3英寸 | |
| 表面粗糙度（nm） | ＜0.8 | ＜0.8 | ＜0.8 | ＜0.8 | |
| 室温2DEG迁移率（cm2/Vs） | ＞1700 | ＞1700 | ＞1600 | ＞1600 | |
| 室温2DEG面密度（cm-2） | ＞0.8×1013 | ＞0.8×1013 | ＞0.8×1013 | ＞0.8×1013 | |
| 方块电阻;;;; （Ω/□） | 300-450 | 300-450 | 300-500 | 300-500 | |
| 方块电阻不均匀性（%） | ＜3 | ＜5 | ＜3 | ＜5 | |
| 其他产品规格可按照客户要求定制 | |||||
