氮化铝单晶片
氮化铝单晶片
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| 产品名称 | 项目 | 指标 | |
| 2英寸AlN单晶片 | 直径 | 50.8mm±0.5mm | |
| 晶向 | （0001）±0.5° | ||
| 位错密度 | ≤1×106cm-2 | ||
| 表面粗糙度 | ＜2nm | ||
| 厚度 | 400±25μm | ||
| 总厚度变化 | ＜50μm | ||
| 翘曲度 | ＜50μm | ||
| 衍射半峰宽 | ＜300arcsec | ||
| 电阻率 | 1×108Ω·cm | ||
| 如有特殊需求，可提供用户定制 | |||
