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上海纳动纳米位移技术有限公司

Z轴压电陶瓷纳米台-上海纳动纳米位移技术有限公司

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上海纳动纳米位移技术有限公司

经营模式: 未填写

所在地区: 上海上海市

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产品描述

PSVH30-005U为Z向直驱压电平移台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。

底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔,便于用户方便安装,订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2通孔。

本系列产品形行程范围为5μm(闭环)。

产品特性

—单轴运动

—运动可达5μm(闭环)

—最大承载0.8kg

—Z轴紧凑型设计

选配功能

—可定制安装、负载固定孔位及转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可提供XZ、XY和XYZ版本

应用领域

—纳米压印、纳米计量、纳米光刻

—原子力显微镜、扫描电镜

—生物技术、干涉测量

—表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术


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