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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电物镜聚焦台-纳动纳米

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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品描述

PFC-050U/080U是重载设计的压电陶瓷物镜聚焦平台,是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域,它包含50μm和100μm两种规格行程的版本,均适合高动态应用。

PFC-050U/080U的应用范围包括:Z向移动,3D成像,自动对焦或与我们提供的XY纳米位移台设备一起使用。PFC-050U/080U本体由铝,钢和黄铜制成,闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。

黄铜安装环可以轻松更换,以使每个物镜都适合PFC纳米定位器。可用的标准产品包括RMS,M25,M26,M27、M32、M38等,也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。

零间隙,高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力,可带动较大物镜的高动态定位和扫描。

可选的应变测量反馈闭环操作版本,采用高分辨率应变测量位置传感器,具有高精度和可重复的运动,也补偿压电陶瓷的蠕变特性,闭环装置可以用于开环或闭环控制。可选附件转接环,方便用户安装到指定设备中。

产品特性

—位移:50μm/100μm(闭环)

—螺纹尺寸:W0.8x1/36“至M32x0.75

—适用于质量达500g专用物镜

—超紧凑型设计

并联结构设计具有高谐振频率

选配功能

—可定制转接装置及固定方式

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择定制其它螺纹规格

应用领域

—倒置/正立显微镜

—表面扫描和分析、AFM显微镜

—生物技术(例如细胞扫描)

—光束聚焦用于印刷过程

—半导体测试设备


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